Preparazione avanzata del campione
Per molti dei materiali avanzati odierni, l’analisi tramite SEM è una tecnica ideale per studiare rapidamente la struttura e le proprietà dei materiali.
Il SEM MIll modello 1061 di Fischione Instruments è uno strumento eccellente per creare le caratteristiche della superficie del campione necessarie per l’imaging e l’analisi SEM.
Accetta campioni di grandi dimensioni
Il SEM Mill accetta le seguenti dimensioni del campione:
Sezione trasversale*
Massimo: 10 x 10 x 4,0 mm (0,39 x 0,39 x 0,157 pollici)
Minimo: 3 x 3 x 0,7 mm (0,12 x 0,12 x 0,028 pollici)
Planare
1,25 pollici di diametro x 1 pollice di altezza (32 x 25 mm)
Il rilevamento automatico dello spessore del campione massimizza la produttività, mentre la codifica magnetica fornisce una precisione di posizionamento assoluta.
Stazione di sezione trasversale (opzionale)
La stazione della sezione trasversale di Fischione Instruments è uno strumento per creare campioni di sezione trasversale incontaminati pronti per la fresatura ionica nel mulino SEM.
Fare clic qui per saperne di più sulla stazione Cross-section.
Trasferimento rapido del campione
Il SEM Mill è dotato di un blocco del carico a vuoto per un rapido scambio di campioni. Il blocco del carico è progettato ergonomicamente; è sufficiente sollevare il coperchio di blocco del carico per caricare il supporto del campione sul tavolino.
Riposizionare il coperchio e l’evacuazione del blocco del carico avviene entro pochi secondi.
Il vuoto fissa il coperchio del blocco del carico in posizione durante la fresatura ionica.
Un elevatore controllato elettronicamente sposta quindi il campione nella posizione di macinazione.
Al termine del processo di fresatura, il portacampioni ritorna al blocco del carico, ma rimane sotto vuoto fino a quando non viene sfiatato dall’utente.
Il venting richiede solo pochi secondi.
Capsula di trasferimento del gas inerte o sotto vuoto (opzionale)
Una capsula a vuoto opzionale consente di trasferire il campione al SEM sotto vuoto o in un gas inerte.
Camera
La camera a vuoto del SEM Mill rimane sotto vuoto continuo durante il funzionamento. Un blocco del carico isola il vuoto della camera alta dall’ambiente durante lo scambio del campione, garantendo condizioni di vuoto ottimali.
Regolazione precisa dell’angolo
Le sorgenti ioniche sono inclinate per fornire l’angolo di fresatura desiderato. Gli angoli di inclinazione della sorgente ionica a regolazione continua vanno da 0 a + 10 °. Gli angoli della sorgente ionica vengono regolati utilizzando i controlli della sorgente ionica sinistro e destro.
È possibile scegliere di utilizzare una o entrambe le sorgenti ioniche TrueFocus.
Se si utilizzano entrambe le sorgenti ioniche, è possibile regolare gli angoli del fascio in modo indipendente.
Quando entrambi i fasci ionici sono diretti a una delle superfici del campione, le velocità di fresatura vengono raddoppiate; questa capacità è utile per applicazioni come la lucidatura planare di campioni.
Regolazione automatica dell’angolo di fresatura (opzionale)
La regolazione automatica dell’angolo di fresatura tramite il touch screen è un’opzione disponibile per SEM Mill. L’aggiunta di questa funzionalità consente di creare sequenze di fresatura a più fasi che includono la regolazione automatica degli angoli di fresatura durante tutto il processo di fresatura.
Movimento del campione programmabile
La rotazione del campione è di 360 ° con velocità di rotazione variabile e una funzione di oscillazione del campione. Lo strumento rileva automaticamente lo spessore del campione e stabilisce il piano di fresatura, che massimizza la produttività. Un encoder magnetico fornisce una precisione di posizionamento assoluta.
Raffreddamento a stadi integrato (opzionale)
Sebbene la fresatura ad angoli bassi con basse energie del fascio ionico riduca il riscaldamento del campione, i campioni sensibili alla temperatura possono richiedere un ulteriore raffreddamento. Il raffreddamento con azoto liquido dello stadio di campionamento è molto efficace nell’eliminare gli artefatti indotti dal calore.
Il sistema di azoto liquido del SEM Mill è dotato di un dewar situato all’interno della custodia che è completamente integrato e interbloccato. Il dewar è posizionato vicino all’operatore per un facile accesso. Sono disponibili due opzioni di dewar: un dewar standard per applicazioni che richiedono da 3 a 5 ore di raffreddamento durante la fresatura ionica o un dewar esteso per applicazioni che richiedono oltre 18 ore di funzionamento in condizioni criogeniche. La temperatura è continuamente visualizzata sul touch screen.
Temperatura programmabile
Il SEM Mill offre la possibilità di programmare e mantenere una temperatura specifica tra ambiente e criogenica.
Al termine della macinazione a temperature criogeniche, la temperatura del tavolino viene automaticamente aumentata a quella ambiente prima dello sfiato per evitare il gelo e la contaminazione del campione.
È possibile programmare una protezione termica su una soglia di temperatura di stadio specifica alla quale le sorgenti di ioni verranno disattivate se l’azoto liquido nel dewar si esaurisce.
Terminazione automatica
Il processo di macinazione ionica può essere terminato automaticamente in base al tempo trascorso o alla temperatura.
Tempo
Un timer consente di continuare la macinazione per un tempo predeterminato e quindi spegne l’energia alle sorgenti di ioni quando il tempo è trascorso. Il campione rimane sotto vuoto fino a quando il blocco del carico non viene scaricato.
Temperatura
La protezione termica associata al sistema di raffreddamento del campione interromperà il processo se lo stadio di campionamento raggiunge una temperatura preimpostata.
Visualizzazione del campione in situ
Il processo di fresatura ionica può essere monitorato in situ nella posizione di fresatura quando si utilizza lo stereo opzionale o il microscopio ad alto ingrandimento.
La finestra di visualizzazione è protetta da un otturatore, che impedisce l’accumulo di materiale spruzzato che potrebbe interferire con l’osservazione del campione.
Microscopio stereo (opzionale)
Uno stereomicroscopio (da 7 a 45 X) migliora la visualizzazione del campione. La lunga distanza di lavoro del microscopio consente di osservare il campione in situ durante la fresatura.
Microscopio ad alto ingrandimento (opzionale)
Il SEM Mill può essere configurato con un microscopio ad alto ingrandimento 525X o 1.960X accoppiato a una telecamera CMOS e monitor video per visualizzare campioni e acquisire immagini in situ durante la fresatura. Questo sistema è ideale per la preparazione di campioni specifici del sito.
Illuminazione del campione
Sia i microscopi ad alto ingrandimento che gli stereomicroscopi hanno sorgenti luminose che forniscono un’illuminazione del campione riflessa dall’alto verso il basso, regolabile dall’utente.
Controllo touch screen
Touch screen I parametri di fresatura vengono inseriti tramite un touch screen da 10 pollici, che può essere posizionato fisicamente all’altezza e all’angolo di visione preferiti. Dal touch screen è possibile controllare un’ampia varietà di parametri dello strumento, come l’energia del fascio ionico, l’angolo di fresatura, il movimento del campione, la posizione del campione e la conclusione del processo.
Per operazioni automatizzate e non presidiate, è possibile programmare una serie di sequenze di fresatura. Un approccio tipico consiste nell’iniziare con la fresatura rapida per rimuovere quantità maggiori di materiale campione; poi, man mano che il campione si assottiglia, una velocità di macinazione inferiore per lucidare il campione. Queste sequenze di fresatura possono essere facilmente memorizzate e richiamate per un utilizzo futuro.
Durante le operazioni di fresatura, l’avanzamento della sequenza di fresatura e lo stato dello strumento vengono visualizzati in tempo reale sul touch screen.
La funzionalità avanzata include strumenti per la gestione dei dati di esempio, la manutenzione e i file di registro e l’archiviazione delle immagini, nonché l’accesso remoto, che consente di supervisionare le operazioni di fresatura tramite un computer remoto se SEM Mill è collegato in rete alla intranet della struttura.
L’accesso alla configurazione dello strumento, agli strumenti di amministrazione e diagnostica e ai file di registro e di manutenzione è controllato tramite privilegi concessi ai vari livelli utente e richiedono credenziali di accesso.
Indicatore di stato del sistema di illuminazione dello stack (opzionale)
Una pila di luci opzionale consente di visualizzare lo stato del sistema dall’altra parte della stanza.
Controllo automatico del gas
Due controllori di flusso di massa forniscono una regolazione indipendente e automatica del gas di processo per le sorgenti ioniche. L’algoritmo di controllo del gas produce fasci ionici stabili su un’ampia varietà di parametri di macinazione della sorgente ionica. Il gas di processo è argon ad altissima purezza (99,999%).
Sistema di vuoto a secco completamente integrato
Il sistema di vuoto integrato include una pompa a trascinamento turbomolecolare supportata da una pompa a membrana multistadio. Questo sistema oil-free assicura un ambiente pulito per l’elaborazione dei campioni.
Poiché i requisiti di gas della sorgente ionica TrueFocus sono ridotti, la pompa a trascinamento turbomolecolare da 70 lps produce un vuoto del sistema operativo di circa 5 x 10-4 mbar. Il livello di vuoto viene misurato con un catodo freddo, un misuratore a gamma completa e viene continuamente visualizzato sul touch screen.
Manutenzione minima
A causa dell’efficienza della ionizzazione, la manutenzione della sorgente ionica TrueFocus è minima e i componenti hanno una durata estremamente lunga. Il materiale spruzzato dalla sorgente ionica è trascurabile, riducendo al minimo sia la contaminazione del campione che la manutenzione dei componenti. Le casseforme automatiche prevengono l’accumulo di materiale spruzzato sulla finestra di visualizzazione. Tutti i componenti del sistema sono facilmente accessibili per la pulizia ordinaria.
Diagnostica remota
Fischione Instruments si impegna a supportare la massima operatività dello strumento. A tal fine, il SEM Mill dispone di funzionalità di diagnostica remota integrate. Quando è connesso a Internet, il SEM Mill è accessibile in remoto da Fischione Global Service per una rapida risoluzione dei problemi e supporto diagnostico.
Assistenza e manutenzione preventiva
Per saperne di più sul servizio completo di Fischione Global Service e sui programmi di manutenzione preventiva, contattare Fischione Global Service.
*Taglia standard; altre misure disponibili su richiesta.
App. Notes
