SEM con In-Lens o senza In-Lens?

Il futuro della microscopia elettronica a scansione si basa sull’integrazione di tecnologie avanzate, ma come possiamo bilanciare risoluzione e accessibilità?
Il nostro ultimo articolo confronta i microscopi elettronici a scansione (SEM) con e senza rivelatore In-Lens, evidenziando le peculiarità tecniche e le differenze prestazionali.
Il rivelatore In-Lens, posizionato all’interno della lente obiettivo, cattura in modo selettivo ed efficiente gli elettroni secondari SE1, responsabili dei dettagli superficiali ad alta risoluzione.
Questo si traduce in una risoluzione spaziale superiore, una maggiore sensibilità superficiale e la possibilità di filtrare le energie per distinguere tra contrasto topografico e composizionale. I SEM con tecnologia In-Lens sono spesso accoppiati a sorgenti a emissione di campo (FEG), offrendo eccellenti prestazioni anche a basse tensioni, ma a costi e complessità operativi maggiori, richiedendo un vuoto ultra-spinto.
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