Uso degli standard per l’analisi EDS quantitativa

sem, detector eds, microscopio elettronico a scansione

Dalle altezze relative dei picchi di uno spettro EDS è possibile ricavare informazioni di tipo quantitativo. Per poterlo fare è necessario correggere il valore dell’integrale di ciascun picco per tenere conto di diversi fattori che possono inficiare il calcolo, come ad esempio il valore del background o la parziale sovrapposizione di più picchi. Il software applica automaticamente gli opportuni algoritmi di correzione ed esegue un’analisi semi-quantitativa confrontando lo spettro ottenuto con un database di standard precaricato con i valori di fabbrica per l’analisi standardless (a 5 o 20 kV). Per migliorare la precisione del calcolo è possibile tuttavia utilizzare dei propri materiali standard di riferimento di cui sia nota l’esatta composizione chimica. I risultati migliori si hanno quando la composizione del campione e quella dello standard sono simili: in questo caso l’accuratezza della misura dipende solamente dalla catena di misura e dall’affidabilità delle concentrazioni dichiarate per lo standard. Se uno standard simile al campione non è disponibile, si impiegano standard “semplici” come elementi puri o ossidi. In questo caso l’interpretazione diventa meno precisa a causa dell’effetto matrice, che va quindi corretto applicando modelli matematici come il metodo ZAF (Z, numero atomico; A, coefficiente di assorbimento specifico; F, fluorescenza indotta).