BEX: BSE imaging e analisi chimica EDS con un unico detector

Se da un lato è vero che la teoria che sta dietro al funzionamento dei rivelatori di cui è dotato un SEM è ormai conosciuta e assodata, è anche vero che la tecnologia non si ferma mai: il nuovo detector Unity di Oxford combina in un unico detector due sensori per raggi X (EDS) e due sensori BSE (Fig. 1).

Fig. 1 – Il detector Unity di Oxford combina BSE e EDS in unico detector.

I vantaggi di un setup di questo tipo, in cui EDS e BSE si trovano sullo stesso piano, posti immediatamente al di sotto del pezzo polare, sono molteplici:

· Analisi ad alte prestazioni: a differenza dei rivelatori BSE convenzionali, i sensori BSE Unity hanno una forma ottimizzata per massimizzare la raccolta del segnale e sono raffreddati tramite Peltier per una maggiore sensibilità.

· Working distance flessibile: a differenza dei detector EDS convenzionali che lavorano ad una specifica WD (distanza che ottimizza la raccolta dei raggi X, ma che spesso non è la distanza migliore alla quale salvare un’immagine ad alta risoluzione), nel detector Unity la posizione operativa dei sensori e l’ampio angolo solido di raccolta consentono di acquisire dati chimici coerenti in un ampio intervallo di distanze di lavoro (> 6 mm).

· Analisi topografica avanzata: i due sensori BSE possono essere configurati in modalità TOPO, consentendo di enfatizzare la topografia del campione anziché la composizione chimica. Grazie alla particolare configurazione del detector, i due sensori per raggi X sono inoltre in grado di fornire informazioni provenienti anche da una topografia difficile del campione, come ad esempio avvallamenti profondi che normalmente non darebbero luogo ad alcun segnale a causa dell’ombreggiamento (Fig. 2).

· Ampio campo di vista: la forma e la posizione del rivelatore sono progettate per consentire di condurre analisi anche a bassissimo ingrandimento e in modalità Wide Field.

· Possibilità di lavorare a pressione variabile su campioni non conduttivi, grazie al sensore di pressione integrato che gestisce in maniera automatica il sistema di raffreddamento del detector.

· Velocità di analisi: con un unico detector è possibile acquisire in modalità Live spostandosi sul campione e ottenere in tempo reale sia l’immagine BSE che l’informazione di tipo chimico proveniente dall’EDS.

Fig. 2 – Esempio di analisi combinata BSE-EDS: in un unico passaggio si ottengono informazioni sia morfologiche che chimiche. La particolare configurazione del detector permette di raccogliere il segnale anche da porzioni del campione normalmente difficili da raggiungere.

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