Standard di calibrazione del reticolo a bersaglio multiplo Micro-Tec MTC-5

Destinato all’uso con imaging a luce riflettente, sistemi di controllo della qualità ottica e imaging SEM a basso ingrandimento per:

• calibrazione dell’ingrandimento
• misure di dimensioni critiche
• correzione della distorsione
• valutazione della qualità delle immagini
• misure di controllo di qualità.

Esistono quattro modelli distinti sullo standard di calibrazione MTC-5:

• Schemi circolari da 5 µm a 5 mm di diametro
• Schemi quadrati da 5 x 5µm a 5x5mm
• Schemi esagonali da 5 µm a 5 mm di diametro
• Schema a scala incrociata di 5x5mm con divisioni 0,002mm

Le linee Cr depositate si trovano nello stesso piano di messa a fuoco del substrato, meglio definite e forniscono più segnale rispetto ai motivi incisi. Sono anche meno inclini ad accumulare particelle di polvere negli schemi.

Ciascuno degli standard di calibrazione ha un numero di serie univoco ID prodotto inciso sulla matrice. Gli standard di calibrazione Micro-Tec MTC-5 sono tracciabili NIST; un certificato di tracciabilità a livello di wafer è fornito con ogni standard. MTC-5 è disponibile in due versioni:

• MTC-5 con linee Cr su silicio per imaging in campo chiaro
• MTCD-5 con motivo invertito (area tra la linea rivestita con Cr) per imaging in campo scuro con la caratteristica più piccola 10µm

#31-T33600 Micro-Tec MTC-5F Standard di calibrazione per target multipli con 4 modelli, campo chiaro

Lo standard di calibrazione multi-target del campo brigth Micro-Tec MTC-5F comprende linee di cromo lucido depositate con precisione su un substrato di silicio ultra piatto conduttivo. MTC-5F è stato progettato per la calibrazione di microscopi a luce riflettente, microscopi stereo, sistemi di controllo della qualità ottica e imaging SEM a basso ingrandimento. Micro-Tec MTC-5F incorpora quattro modelli distinti:
Schemi circolari da 5 µm a 5 mm di diametro
Schemi quadrati da 5×5µm a 5x5mm
Schemi esagonali da 5 µm a 5 mm di diametro
Schemi a scala incrociata di 5x5mm con divisioni 0,002mm

I quattro motivi depositati in cromo si trovano tutti sullo stesso piano di messa a fuoco e forniscono un segnale più elevato rispetto ai motivi incisi. Micro-Tec MTC-5F è uno standard tracciabile NIST. Esempio di certificato di tracciabilità a livello di wafer per lo standard di calibrazione a target multiplo Micro-Tec MTC-5F.

	Micro-Tec MTC-5F Standard di calibrazione per target multipli con 4 modelli, campo chiaro
Product #	Unit
31-T33600-U	Micro-Tec MTC-5F Multiple target calibration standard with 4 patterns, unmounted
31-T33600-3	Micro-Tec MTC-5F Multiple target calibration standard with 4 patterns, mounted on 25.4mm pin stub
31-T33600-7	Micro-Tec MTC-5F Multiple target calibration standard with 4 patterns, mounted op 25mm JEOL stub
31-T33600-9	Micro-Tec MTC-5F Multiple target calibration standard with 4 patterns, mounted on 25mm Hitachi stub
31-T33600-11	Micro-Tec MTC-5F Multiple target calibration standard with 4 patterns, mounted on black microscope slide
31-T33600-10	Micro-Tec MTC-5F Multiple target calibration standard with 4 patterns, mounted on custom specimen stub

#31-T33700 Micro-Tec MTCD-5 Standard di calibrazione per target multipli con 4 pattern, Dark Field

Lo standard MTCD-5 per la calibrazione di target multipli in campo scuro comprendeva quattro schemi invertiti; area depositata di cromo con elementi lasciati non esposti che mostrano il substrato di silicio. Progettato per applicazioni in campo scuro in microscopia a luce riflessa, sistemi di controllo della qualità ottica e imaging SEM a basso ingrandimento. I grandi rivestimenti cromati possono anche essere utilizzati per valutare la capacità dei sistemi ottici di distinguere le caratteristiche in applicazioni ad alta luminosità e alta riflessione. I modelli sono:
Schemi circolari invertiti da 10µm a 5mm di diametro
Schemi quadrati invertiti da 10×10µm a 5x5mm
Esagono invertito da 10 µm a 5 mm di diametro
Schemi in scala incrociata di 5x5mm con divisioni 0,01mm.

	Micro-Tec MTCD-5 Standard di calibrazione per target multipli con 4 pattern, Dark Field
Product #	Unit
31-T33700-U	Micro-Tec MTCD-5 Multiple target calibration standard with 4 patterns, unmounted
31-T33700-3	Micro-Tec MTCD-5 Multiple target calibration standard with 4 patterns, mounted on 25.4mm pin stub
31-T33700-7	Micro-Tec MTCD-5 Multiple target calibration standard with 4 patterns, mounted op 25mm JEOL stub
31-T33700-9	Micro-Tec MTCD-5 Multiple target calibration standard with 4 patterns, mounted on 25mm Hitachi stub
31-T33700-11	Micro-Tec MTCD-5 Multiple target calibration standard with 4 patterns, mounted on black microscope slide
31-T33700-10	Micro-Tec MTCD-5 Multiple target calibration standard with 4 patterns, mounted on custom specimen stub