I supporti per wafer EM-Tec sono appositamente progettati per contenere wafer semiconduttori nelle dimensioni di 51 mm, 76 mm, 100 mm, 150 mm e 200 mm di diametro (2 pollici, 3 pollici, 4 pollici, 6 pollici e 8 pollici). Sono compatibili con i wafer con un piatto o con una tacca. L’esclusivo cursore di bloccaggio è regolabile per far fronte a wafer non standard. Realizzato in alluminio compatibile con il vuoto e ottone autolubrificante.