Preparazione avanzata dei campioni
Il modello 1062 TrionMill di Fischione Instruments è uno strumento eccellente per creare le caratteristiche superficiali dei campioni necessarie per le immagini e le analisi SEM.
Le tre sorgenti ioniche del TrionMill consentono la fresatura su larga scala di campioni planari e in sezione. Il funzionamento ad alta energia consente la fresatura rapida di grandi aree (fino a 50 mm); il funzionamento a bassa energia consente una delicata lucidatura del campione.
Accetta campioni di grandi dimensioni
Il TrionMill crea l’area piana più ampia e uniforme ottenibile con la fresatura ionica. Lo strumento accetta le seguenti dimensioni di campione:
Planare: Fino a 50 mm di diametro x 25 mm di altezza [1,968 x 0,787 pollici].
Sezione trasversale: Massimo: 10 x 10 x 4 mm [0,39 x 0,39 x 0,157 pollici].
Stazione di sezione (opzionale)
La stazione di sezione trasversale di Fischione Instruments è uno strumento per creare campioni di sezione trasversale incontaminati pronti per la macinazione ionica nel SEM Mill. Per saperne di più sulla stazione per sezioni trasversali.
Trasferimento rapido dei campioni
La chiusura di carico a caricamento frontale con valvola a vuoto pneumatica consente un’elevata capacità di trasferimento dei campioni. La funzionalità di sgancio rapido del portacampioni a baionetta velocizza il trasferimento dei campioni.
Regolazione precisa dell’angolo
Le sorgenti ioniche sono inclinate per fornire l’angolo di fresatura desiderato. Gli angoli di inclinazione della sorgente ionica, regolabili in continuo, vanno da 0 a +10°. È possibile scegliere di utilizzare una, due o tre sorgenti ioniche TrueFocus. Ogni angolo del fascio di sorgenti ioniche si muove all’unisono.
Regolazione automatica dell’angolo di fresatura
La regolazione automatica dell’angolo di fresatura tramite il touch screen consente di creare sequenze di fresatura in più fasi che includono la regolazione automatica degli angoli di fresatura durante il processo di fresatura.
Movimento del campione programmabile
La rotazione del campione è continua a 360° con velocità di rotazione variabile e funzione di oscillazione del campione. Il rilevamento automatico dell’altezza stabilisce il piano di fresatura, ottenendo risultati ripetibili.
Raffreddamento integrato dello stadio (opzionale)
Il sistema ad azoto liquido del TrionMill è dotato di un dewar situato all’interno della struttura, completamente integrato e interbloccato. Il dewar è posizionato vicino all’operatore per facilitarne l’accesso. La temperatura viene visualizzata continuamente sul touch screen. La funzionalità di raffreddamento a stadi fornisce fino a 18 ore di condizioni di criogenia.
Temperatura programmabile
Il TrionMill offre la possibilità di programmare e mantenere una temperatura specifica tra quella ambiente e quella criogenica.
Al termine della macinazione a temperature criogeniche, la temperatura dello stadio viene automaticamente riportata a quella ambiente prima dello sfiato, per evitare il congelamento e la contaminazione del campione. È possibile programmare una protezione termica a una specifica soglia di temperatura dello stadio, alla quale le sorgenti ioniche vengono disattivate se l’azoto liquido nel dewar si esaurisce.
Sistema di trasferimento sotto vuoto/gas inerte/criogenico (opzionale)
Questo sistema consente il trasferimento diretto di un campione sotto vuoto, in gas inerte o a temperatura criogenica al SEM o al FIB. Il sistema di trasferimento è frutto di una collaborazione con Quorum Technologies Ltd.
Visualizzazione del campione (opzionale)
Il processo di fresatura ionica può essere monitorato in situ nella posizione di fresatura utilizzando uno dei microscopi opzionali ad alto ingrandimento.
Microscopio ad alto ingrandimento (525X)
Microscopio ad alto ingrandimento (1.960X)
La finestra di osservazione è protetta da un otturatore che impedisce l’accumulo di materiale polverizzato che potrebbe interferire con l’osservazione del campione.
Acquisizione dell’immagine del campione (opzionale)
L’opzione di acquisizione delle immagini del campione impiega una telecamera e un monitor CMOS (semiconduttore complementare a ossidi metallici) per osservare i campioni e catturare immagini in situ durante la fresatura. Questo sistema è utile per monitorare il processo di ritardo.
Terminazione automatica
Il processo di fresatura ionica può essere terminato automaticamente in base al tempo trascorso o alla temperatura.
Visualizzazione del campione (opzionale)
Il processo di fresatura ionica può essere monitorato in situ nella posizione di fresatura utilizzando uno dei microscopi opzionali ad alto ingrandimento.
Microscopio ad alto ingrandimento (525X)
Microscopio ad alto ingrandimento (1.960X)
La finestra di visualizzazione è protetta da un otturatore, che impedisce l’accumulo di materiale polverizzato che può interferire con l’osservazione del campione.
Acquisizione dell’immagine del campione (opzionale)
L’opzione di acquisizione delle immagini del campione impiega una telecamera e un monitor CMOS (semiconduttore complementare a ossidi metallici) per osservare i campioni e catturare immagini in situ durante la fresatura. Questo sistema è utile per monitorare il processo di ritardatura.
Terminazione automatica
Il processo di fresatura ionica può essere terminato automaticamente in base al tempo trascorso o alla temperatura.
Diagnostica remota
Fischione Instruments si impegna a sostenere la massima operatività dello strumento. A tal fine, il TrionMill è dotato di una capacità di diagnostica remota. Quando è connesso a Internet, il TrionMill può essere consultato dal servizio di assistenza Fischione Instruments per una rapida risoluzione dei problemi e un supporto diagnostico.
App. Notes