Il DST1-300 è uno sputter coater da banco ad alto vuoto. È progettato per la deposizione uniforme e duratura di semiconduttori, dielettrici e metalli e la camera ha un diametro di 300 mm.
Il dispositivo ha un catodo magnetron raffreddato ad acqua da 2, 3 o 4 pollici ed è ideale per campioni fino a 15 cm di diametro o per più campioni di dimensioni ridotte. L’assenza di limiti di tempo di sputtering lo rende adatto alla deposizione di strati spessi.
Il DST1-300 è dotato di un alimentatore DC da 600 W. In alternativa, può montare un alimentatore RF da 300 W (opzionale) con box di auto-matching. Questo sistema ad alto vuoto permette di depositare un’ampia gamma di materiali, tra cui metalli ossidanti e non ossidanti come oro (Au), platino/palladio (Pt/Pd), argento (Ag), cromo (Cr), tungsteno (W) e iridio (Ir). È compatibile anche con ossidi metallici come TiO₂ e ZnO e le applicazioni includono film sottili, micro e nanoelettronica e preparazione campioni SEM.
Il DST1-300 garantisce la deposizione di film uniformi con grana fine ed è perfetto per caratterizzazioni ad alta risoluzione, come FE-SEM, EDS/WDS, TEM ed EBSD. La camera è realizzata in Pyrex cilindrico. Il sistema è dotato di una pompa turbomolecolare interna da 90 L/s e di una pompa rotativa a due stadi da 6 m³/h. Questa configurazione assicura un vuoto pulito, privo di contaminazioni d’olio.
L’interfaccia di controllo è un touch screen a colori da 7 pollici. Il software è intuitivo e permette una gestione automatizzata del processo di deposizione. I dati sul vuoto e sul rivestimento sono visibili in formato digitale o grafico. La cronologia registra le ultime 300 deposizioni.
I campioni possono essere montati su piatti porta-campioni rotanti con altezza e angolazione regolabili. Il design modulare consente una sostituzione rapida dei supporti, garantendo massima flessibilità operativa.
Grazie alla sua tecnologia, il DST1-300 è la soluzione ideale per lo sputtering ad alto vuoto di metalli e dielettrici per la preparazione di campioni SEM.