Il DSCR-300 è un sistema compatto e versatile per sputter coating e deposizione di carbonio, progettato per campioni di grandi dimensioni. Dotato di una camera ampia e di una magnetron raffreddata ad acqua da 3 o 4 pollici, consente la deposizione uniforme di strati sottili e spessi su diverse superfici. È ideale per la preparazione di campioni SEM e per applicazioni di micro e nano elettronica. Permette così la deposizione di metalli nobili non ossidanti come oro (Au), palladio (Pd), platino (Pt) e leghe Au/Pd su materiali non conduttivi o scarsamente conduttivi.
Grazie alla pompa rotativa integrata, il DSCR-300 garantisce un vuoto pulito, evitando la contaminazione da olio tipica delle pompe a diffusione. Questo assicura film sottili di alta qualità con una distribuzione uniforme del materiale, ideali per FE-SEM, TEM ed EDX.
Il sistema è configurato per sputtering a corrente continua (DC) e deposizione di carbonio tramite trecce o barre di carbonio (carbon threads o carbon rods), grazie a teste intercambiabili. Può caricare fino a tre trecce di carbonio con un diametro massimo di 0,8 mm. Inoltre, il DSCR-300 supporta l’evaporazione pulsata della fibra in trecce di carbonio, che permette una deposizione più controllata e riduce i detriti rispetto ai metodi tradizionali.
Il sistema può essere equipaggiato con un evaporatore a barra di carbonio, che richiede un alimentatore esterno da 0-100 A. Con una magnetron da 3 pollici, può rivestire campioni fino a 12 cm di diametro. Mentre con una magnetron da 4 pollici può trattare campioni fino a 15 cm o oltre 50 stub SEM da 1 cm.
Il DSCR-300 è completamente automatico e dotato di un touchscreen a colori da 7 pollici, che consente di controllare in modo intuitivo il processo di deposizione. I dati possono essere visualizzati in tempo reale, in formato numerico o grafico, e le ultime 300 deposizioni vengono archiviate per un monitoraggio accurato.
Il sistema offre diverse configurazioni di porta-campioni, inclusi modelli rotanti con altezza e angolazione regolabili, per garantire la massima flessibilità e uniformità di deposizione. Grazie alla sua precisione, versatilità e facilità d’uso, il DSCR-300 è la soluzione ideale per laboratori e centri di ricerca nel campo della micro e nanoelettronica, sensoristica, ottica e deposizione di film sottili.
Grazie alla sua tecnologia avanzata, il DSCT-T è una soluzione versatile per la deposizione di film sottili e la preparazione di campioni per microscopia elettronica.